Abstrakt Odvtedy, ako sa mnohé technológie začali realizovať v čoraz menších rozmeroch, sa stala charakterizácia intrinzických mechanických vlastností materiálov a tenkých vrstiev obťažnejšou a komplikovanejšou. Medzi metódy určené na meranie mechanických vlastností nanoštruktúrnych tenkých vrstiev patria techniky nanoindentácie, ktoré sa často používajú na meranie mechanických vlastností tenkých vrstiev, ich tvrdosti, modulu pružnosti, odolnosti voči vrypu („scratch test“), tečenie a určenie ďalších charakteristík. Ďalším dôvodom popularity nanoindentačných metód je, že sa mechanické vlastnosti môžu merať bez toho, aby bolo potrebné odstrániť tenkú vrstvu zo substrátu, ako je to pri iných metódach skúšania, čo poskytuje možnosť merať povrch materiálu v mnohých bodoch a to aj v oboch smeroch, tak v horizontálnom smere ako aj po hrúbke materiálu. Je potrebné zdôrazniť, že pre získanie intrinzických vlastností tenkých vrstiev je potrebné u materiálov eliminovať vplyv substrátu počas samotného merania. Ukázalo sa, že práve metódami nanoindentácie je možné v súčasnosti najľahšie stanoviť mechanické vlastnosti povlakov a tenkých vrstiev. Hoci na druhej strane je potrebné poznamenať, že pri stanovení týchto mechanických vlastností dochádza k mnohým ťažkostiam v dôsledku viacerých dominantných parametrov, ktoré vplývajú na samotné meranie. V poslednom období došlo k mnohým pokusom o unifikáciu poznatkov jednotlivých metód nanomerania využitím nanoindentácie, čo umožnilo mnohých vedcom získať skutočné a podstatné vlastnosti povlakov a tenkých vrstiev. Tento článok popisuje rôzne parametre, ktoré vplývajú na samotnú podstatu nanoindentácie. V článku sú diskutované základné princípy nanoindentácie, analýza kriviek zaťaženie - odľahčenie, poddajnosť rámu zariadenia a ďalšie parametre vplývajúce na merania použitím nanoindentačnej metódy.