 |
Počet návštev: 86492707
AMS práve číta: 1
|
|
|
|
|
 |
|
|
| Slyško P., Ferencey V., Gregor M. |
| VYUŽITIE AUGEROVEJ ELEKTRÓNOVEJ SPPEKTROMETRIE PRE ANALÝZYPOVRCHOVÝCH VRSTIEV |
Abstrakt
Bolo zisťované chemické zloženie tenkých vrstiev kremíka a titanu boridu metódou Augerovej elektronovej spektrometrie. Elektrónový lúč mal hodnotu energie 3 keV a bol sfókusovaný na menší priemer než 20 ?m. Zisťované spektrum tenkej vrstvy kremíka obsahovalo prvky Si (71 a 91 eV), O (495 eV), Si (1588 eV) a tenká vrstvička TiB, ktorá obsahuje prvky ako sú B (197 eV), C(272eV), Ti (418 eV), O ( 511 eV) a Fe (703 eV). Relatívne malé odchylky energií vrcholov môžu byť spôsobené pravdepodobne chemickou väzbou prípadne znečistením oxidáciou a dosahujú iba niekoľko eV. S použitím argónového iónového odprašovania bolo vykonané tiež meranie hĺbkového profilu rozloženia jednotlivých registrovaných prvkov, pričom sme určili časové zvýšenie obsahu uhlíka a železa a zmenšenie obsahu bóru a titanu. Pomocou rastrovacej elektrónovej mikroskopie sme pozorovali v miestach odprášenia komplexné kubické karbón-boridy titanu. Po 45 minutovom odprašovaní sa už pravdepodobne tenká vrstvička TiB úplne odprášila z austenitickej podložky a tak v mieste odprášenia sa už nepozorovali ani kubické útvary TiB.
|
| K. s.: auger electron microscopy|chemical composition|distribution of elements|electron scanning microscopy|sputtering|substrate| |
| No 2 (2004), p. 132-143 |
|
|
|
|
|
|
|
Vydavatelia a tlač
AMS online
